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SPV-12Z在线片式真空等离子清洗机

产品对比

在线式真空等离子清洗机

SPV-12Z在线片式真空等离子清洗机

半导体行业专用RF在线片式真空清洗机，PLASMA处理在线片式等离子处理系统

设备参数
型号SPV-12Z
设备尺寸1650*1318*1803mm（长*宽*高）
RF电源 功率0-600W 频率13.56MHZ
容积12升（长500*宽340*高70mm）
轨道数量 4条*2（分为待料区与处理区）
气路配置标配两路，氩气/氧气（可定制）
系统控制工控系统

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