表面处理与检测整体解决方案
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SPV-12Z在线片式真空等离子清洗机
SPV-12Z在线片式真空等离子清洗机
产品对比
SPV-12Z在线片式真空等离子清洗机
半导体行业专用RF在线片式真空清洗机,PLASMA处理在线片式等离子处理系统
设备参数
型号
SPV-12Z
设备尺寸
1650*1318*1803mm(长*宽*高)
RF电源
功率0-600W 频率13.56MHZ
容积
12升(长500*宽340*高70mm)
轨道数量
4条*2(分为待料区与处理区)
气路配置
标配两路,氩气/氧气(可定制)
系统控制
工控系统
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