SPR-08是一款基于电感耦合等离子体技术的自成一体的原子发生器，它的功能是用于半导体设备工艺腔体原子级别的清洁，使用工艺气体三氟化氮（NF3）/O2，在交变电场和磁场作用下，原材料气体会被解离，从而释放出自由基，活性离子进入工艺室与工艺室上沉积的污染材料（SIO/SIN）或者残余气体（H2O、O2、H2、N2）等物质产生化学反应，聚合为高活性气态分子经过真空泵组抽出处理腔室，提高处理腔室内部洁净度。

针对汽车内饰件制程中植绒、包覆工艺前，通过晟鼎真空等离子进行表面处理，可有效提升PP等材料的表面活性，使其更易与包覆材料结合，从而提高包覆的牢固度和耐久性。

在线片式真空等离子清洗机主要用于半导体行业引线框架表面清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。

除尘头两侧两个吸气口和中间一个吹气口，中间吹气口吹气产生超声波，使灰尘脱离产品表面，吸气口把灰尘吸走，完成除尘

可做到聚合物去除、氧化硅或碳化硅刻蚀、刻蚀后表面清洁

可有效去除表面残留物、介质与介质间光阻去除