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半自动快速退火炉RTP-SA-12

产品对比

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产品特点

  • 红外卤素灯管加热,冷却采用风冷;
  • 灯管功率PID控温,可精准控制温度升温,保证良好的重现性与温度均匀性;
  • 采用平行气路进气方式,避免退火过程中冷点产生;
  • 标配两组组工艺气体,最多可扩展至6组工艺气体;
  • 大气与真空处理方式均可选择,进气前气体净化处理;
  • 可测单晶片样品的最大尺寸为12英寸(300*300mm)。
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 硬件选配

配件类型

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