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专为面积较小、形状复杂的材料进行表面改性处理，是实现清洁、改性功效的理想选择
超低处理温度45℃，不造成热影响，确保稳定的处理效果
温度可达1250℃，可测单晶片样品最大尺寸为6英寸
快速有效清除产品表面浮沉颗粒，3um尘粒97%的清除率，6um尘粒98%的清除率
支持数字通信接口和模拟通信接口，可对接MES系统
采用晟鼎专利中频数字电源，确保等离子体均匀，处理过程稳定
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