等离子表面处理是通过对气体施加足够的能量使之离化成为等离子体。等离子体的“活性”组成包括：离子、电子、原子、活性基因等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、刻蚀等目的。
宽幅等离子清洗机的结构主要分为四大组成部分：高压激励电源、线性等离子发生装置、气体输送系统、控制系统。
（A）高压激励电源：采用射频电源（13.56MHz）进行激励，保障等离子体均匀，处理过程稳定。参数根据样品实际情况可进行调节，已达到的改性效果。
（B）线性等离子发生装置：采用特有的等离子发生结构，常规处理温度＜35℃，均匀稳定，提高和保证设备的使用寿命和性能。
（C）气体输送系统：搭配Ar和与O₂两路气体，根据清洗材质的不同，搭配不同气体。
（D）控制系统：控制系统作用在于控制整个宽幅射频等离子清洗设备的运行，以及整体系统的保护。
| 设备尺寸 | 1800*1107*1675mm（长*宽*高） |
| 重量 | 280KG |
| 需求电源 | AC 220V/50Hz 单相2.5KW |
| 电源功率 | 0-1000W可调（建议0-450W） |
| 电源频率 | 13.56MHz |
| 匹配器 | 全自动真空电容匹配器 |
| 处理宽幅 | 500mm |
| 枪头尺寸 | 570*90*74mm（长*宽*高） |
| 重量 | 10KG |
| 枪头可调节高度 | 0-10mm（调节精度±0.3） |
| 常用处理高度 | 1-5mm以内 |
| 枪头冷却范围 | 25-35℃ |
| 使用气体 | Ar和O2两路气体 |
| Ar气体调节范围 | ≤50L/min |
| O2气体调节范围 | ≤50SCCM |
| 流水线速度 | 0-100mm/s可调 |
| 传送皮带 | 1.8米 |
| 皮带材质 | 防滑PU |
| 感应系统 | 气压报警、功率报警 |
| 报警 | 具备声光报警功能 |
