| 型号SPV-100 | 外形尺寸900*1750*1000mm（宽*高*深） |
| 重量 500KG | 设备外观颜色银灰色 |
| 射频电源 | |
| 功率0~600W | 频率13.56MHz |
| 中频电源 | |
| 功率0~2000W | 频率40KHz |
| 腔体内部尺寸450*450*500mm（宽*高*深） |
| 厚度25mm |
| 材质铝合金（可定制不锈钢腔体） |
| 密封性军工级焊接密封 |
| 电极板有效尺寸322*351mm（宽*深） |
| 可用空间间距22.5mm |
| 工作空间8层 |
| 工作托盘标配一套，材质可选配（铝材、钢丝网） |
| 电极板布置方式水平布置，可活动抽取 |
| 双级旋片泵（油泵）60m3/h |
| 真空管路全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
| 流量范围0~300SCCM | 工艺气体气路标配两路，可定制 |
| 系统控制PLC | 交互方式7寸触控屏幕 |
