提供大气等离子清洗机、真空等离子清洗机、宽幅等离子清洗机、微波等离子清洗机、等离子去胶机、接触角测量仪、USC干式超声波除尘、远程等离子源RPS等一站式服务设备
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快速有效清除产品表面浮沉颗粒，3um尘粒97%的清除率，6um尘粒98%的清除率
除尘头两侧两个吸气口和中间一个吹气口，中间吹气口吹气产生超声波，使灰尘脱离产品表面，吸气口把灰尘吸走，完成除尘
温度可达1250℃，可测单晶片样品最大尺寸为6英寸
可测单晶片样品的最大尺寸为12英寸
全自动双腔设计，可兼容4-12英寸WAFER
