等离子态是物质第四态，可通过对工艺气体施加电场使之电离化成为等离子体。等离子清洗就是通过利用这些活性组分的性质来氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，实现清洁、改性、刻蚀等目的。
等离子清洗被称为干式清洗，有别于大众所认知的清洗，清洗过程是环境安全的过程，不涉及刺激性化学品。等离子体会在材料表面留下自由基，以此增加该表面的粘合性。
等离子清洗机是安全、绿色和高效的等离子清洗方式。可在不影响材料特性的情况下，进行材料表面污染物去除。可广泛应用于PCB板封装过程中遗留脏污的清除。此外，等离子清洗机应用在6C、FPD显示、LED、半导体行业，是提升产品质量的关键技术。
等离子清洗是一新兴的领域，该领域结合等离子物理、化学和气固相界面的化学反应。需跨多种领域，包括化工、材料和电机。因此将极具挑战性，也充满机会，随着新能源行业及半导体行业的快速发展，此方面应用需求将越来越大。