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如何选择合适的快速退火炉载盘材质

2024-05-07

半导体快速退火炉(RTP)是一种特殊的加热设备,能够在短时间内将半导体材料迅速加热到高温,并通过快速冷却的方式使其达到非常高的温度梯度。在快速退火炉中,选择合适的载盘材质对于退火效果和产品质量至关重要。

快速退火炉的晶圆载盘材质有多种选择,其中包括碳化硅、氮化铝和石墨碳化硅等。这些材质各有特点,适用于不同的应用场景。

1、碳化硅载盘是一种常用的材质,它采用碳化硅材料制成,适用于半导体制造过程中晶圆的承载容器。碳化硅载盘具有耐高温、耐腐蚀、热稳定性好等特点,能够在高温环境下保持较好的性能稳定性。此外,碳化硅载盘的控温精准度较高,能够确保晶圆在退火过程中受热均匀,减少炸盘现象的发生。然而,碳化硅载盘的使用寿命会受到保养和使用环境的影响,如果不注意保养或者长时间处于化学物质腐蚀的环境中,其寿命会减短。

碳化硅载盘

*碳化硅载盘

2、氮化铝载盘是另一种常见的材质,氮化铝载盘的加热速度非常快,能够在短时间内达到高温,同时热分布均匀,传热效果好,可大幅度缩短加热时间和提高工作效率。

氮化铝载盘

*氮化铝载盘

3、此外还有一种石墨载盘材质。石墨具有良好的导热性和耐高温性,适用于高温快速退火炉。石墨载盘材质能够快速传导热量,使金属材料均匀受热,提高退火效果。

全自动双腔快速退火炉

*全自动双腔快速退火炉

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