2025年8月20日，我司（东莞市晟鼎精密仪器有限公司）完成的《半导体用RTP快速退火炉装备开发及产业化》经广东省测量控制技术与装备应用促进会、广州市仪器仪表学会组织权威专家鉴定，项目成果具有创新性，总体技术达到国际先进水平，在半导体晶圆多区脉冲双腔退火工艺达国际领先。
01：核心创新与技术突破
*全自动双腔快速退火炉系列
晟鼎针对集成电路和功率器件制造工艺中快速热处理（Rapid Thermal Processing, RTP）的需求，开展半导体用RTP快速退火炉装备关键技术研究，成功研制面向8英寸及12英寸晶圆生产线的双腔全自动RTP快速退火炉产品，实现产业化。
01
多区脉冲双腔高温退火控制系统
研发双腔多区独立控温模块，结合毫秒级脉冲加热方案，大幅提升升温/降温速率与高温均匀性，满足高阶晶圆制造对热处理的高质量要求。
02
智能温控与边缘热补偿算法
通过在线温度均匀测量与动态边缘热补偿模型预测控制技术，有效校正晶圆边缘热损失，显著改善传统RTP设备边缘温度梯度问题，助力第三代半导体器件良率提升。
03
全自动双腔装备与超净传输技术
采用SMIF防尘传输技术与轻量化高强度材料，结合高速伺服驱动系统，实现晶圆在超净环境中的高速、稳定传输与处理，保障产线连续高效运作。
02：科研实力沉淀·产业化加速度
十余年磨剑，铸就半导体快速退火炉国产化基石。
晟鼎立足国家战略与客户需求，深耕技术十三载，构建覆盖全国及海外的7大服务分部和逾110人资深研发团队，形成从理论创新到实践落地的全链条攻坚能力。
目前，RTP快速退火炉设备已在多家行业龙头产线稳定运行，通过实际验证可显著提升晶圆良率、降低生产能耗，以国际先进水平的技术实力持续驱动国产替代进程，为半导体产业创造经济与生态双重价值。
未来，晟鼎将持续深耕半导体高端装备领域，以技术升级、创新驱动为核心竞争力，推动国产RTP设备在全球产业链的价值升级，助力中国"芯"智造！
03：关于晟鼎
晟鼎成立于2012年，是一家集研发、设计、生产、销售及产业链服务为一体的专精特新“小巨人”企业。
为广大客户提供先进的半导体、消费电子、汽车、锂电、光伏、FPD显示等领域表面处理与检测整体解决方案。
拥有行业内首家等离子实验室，与华南理工大学创建半导体等离子应用技术联合研发中心，是广东省工程技术研究中心，目前已获得国家授权专利180余项。