7月28日,2022“创客广东”东莞市中小企业创新创业大赛决赛,在松山湖光大We谷落下帷幕。
本届大赛以“创客广东 匠心莞品”为主题,是由广东省工业和信息化厅、广东省财政厅共同着力打造的“双创”品牌大赛。
本届大赛共352个项目报名,晟鼎精密携“新一代微波等离子半导体去胶解决方案--国内首家自由微波发生器技术”项目,从352个项目中突出重围进入决赛,并斩获2022“创客广东”东莞市中小企业创新创业大赛企业组优胜奖。
晟鼎精密的“新一代微波等离子半导体去胶解决方案--国内首家自由微波发生器技术”项目,主要是应用于半导体中的IC制程及封测环节的等离子除胶、刻蚀设备。
该设备采用晟鼎自主研发微波等离子发生器,搭配射频偏压技术,无放电电极,高效均匀,可彻底清除芯片表面的残留物,保证刻蚀效率,从而显著改善芯片的可制造性、可靠性以及良品率。
目前微波等离子清洗技术的优势,已经被各行各业高度重视,并得到了广泛的认可。晟鼎的微波等离子系列产品,完全符合行业标准,我们可快速响应客户需求,全面满足不同工艺需要,并且价格仅是进口品牌的三分之二。
晟鼎“新一代微波等离子半导体去胶解决方案--国内首家自由微波发生器技术”项目,在技术实力、竞争模式等方面,均获得现场评委的一致认可,荣获企业组优胜奖。
晟鼎经过多年持续的研发投入和技术积累,先后研发出微波等离子清洗机、在线片式微波等离子清洗机、离线式微波plasma去胶机等设备,可用于半导体行业的封装段工艺,以及用于晶圆制造工艺段中等离子活化、除胶、刻蚀。