| 型号SPV-200 | 外形尺寸1050*1700*1050mm（宽*高*深） |
| 重量 800KG | 设备外观颜色银灰色 |
| 射频电源 | |
| 功率0~1000W | 频率13.56MHz |
| 中频电源 | |
| 功率0~2000W | 频率40KHz |
| 腔体内部尺寸600*600*600mm（宽*高*深） |
| 厚度25mm |
| 材质铝合金（可定制不锈钢腔体） |
| 密封性军工级焊接密封 |
| 电极板有效尺寸472*451mm（宽*深） |
| 可用空间间距34mm |
| 工作空间8层 |
| 工作托盘标配一套，材质可选配（铝材、钢丝网） |
| 电极板布置方式水平布置，可活动抽取 |
| 泵组罗茨泵+单级旋片泵 |
| 真空管路全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
| 流量范围0~300SCCM | 工艺气体气路标配两路，可定制（氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳） |
| 系统控制PLC | 交互方式7寸触控屏幕 |
