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SPV-24M微波在线片式真空等离子清洗机

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SPV-24M微波在线片式真空等离子清洗机

专门针对半导体行业的微波在线片式真空等离子清洗机，针对半导体芯⽚粘接前处理、塑封前处理、光刻胶去除、⾦属键合前处理。等离子体不带电，不对精密电路造成损害，采用磁约束方式，可兼容微波结和磁路。

设备参数
型号SPV-24M
设备尺寸2308*1360*2064mm（长*宽*高）
微波电源 双微波电源2000W
容积约24L
清洗产品范围 80-280mm*25-90mm（长*宽）
料盒尺寸范围180-290mm*28-93mm*200mm（长*宽*高）
真空泵干泵
气路配置 标配氧气、氩气两路工艺气体（可定制CF4气体）
系统控制工控系统

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