等离子是什么?
等离子体是物质的第四态，是不同于固态、液态和气态的电离态物质，由自由电子、离子和中性粒子组成的宏观电中性混合体。当外界向气体施加足够能量时，气体分子或原子会发生电离，从而形成等离子体。这种能量可以来自多种形式，包括：高温、强电场、电磁辐射（如紫外线、X射线）、激光或粒子轰击， 这些能量使气体部分或完全电离，最终形成等离子体状态。
等离子表面处理的作用原理
等离子表面处理应用广泛，涵盖多个重要领域，包括：工业制造与材料的处理、能源、医疗与生物技术、环保，消费电子等多个领域。
主要通过以下两种机制改变材料表面特性：
1. 化学反应：等离子中的活性成分（如自由电子、离子、激发态原子或分子及活性自由基）与材料表面发生化学反应，将其分解为挥发物质，从而改善材料的表面性能；
2. 物理轰击：高能离子通过动量传递轰击表面，产生物理溅射效应，使亲水材料增加材料表面粗糙度，提高表面润湿性，疏水材料反之。
通过化学与物理作用的协同效应，等离子表面处理能精准调控材料表面特性，满足不同行业的应用需求。
等离子表面处理的分类
根据离子体的工作气压环境可以分为两类：
1. 常压等离子清洗：在高压电场的作用下，工业气体电离成等离子体，经喷嘴喷射至产品表面，从而达到清洗活化的目的。(如下原理图所示)
原理图 大气射流等离子清洗机
2. 真空等离子清洗（低压）：在真空腔体内，气体在高压条件下电离成活性等离子体，通过化学反应和高能粒子轰击，实现表面清洗，活化，刻蚀，去胶等目的。（如下原理图所示）
原理图 真空等离子清洗机
传统表面处理存在问题：
1. 纯化学清洗（溶剂）
作用于表面分子层，废液难以处理，可能腐蚀敏感材料；
工人长期接触易导致呼吸道疾病；
溶剂易残留微米级油膜，影响后续镀膜/键合（如PCB板焊接不良率升高15%）；
2. 纯物理清洗（喷砂）
作用于宏观的粗糙化，会有粉尘污染，硬质的材料受限；
精度局限，最小处理尺度约10μm，无法满足纳米级清洁需求（如MEMS器件）；
3. 高温热处理（焚烧，解热）
耗能高，材料容易变形，有氧化风险
晟鼎等离子表面处理的优势：
1. 较高的清洁精度：纳米级精准控制，可去除表面单分子层污染物
2. 无损伤低温处理，对敏感材料友好（如下图：晟鼎大气射频宽幅等离子温度＜50°）
3. 环保与安全，无化学溶剂的污染且无有害物质的产生
4. 工艺的可控性较高，参数能够精准调节
5. 多功能集成，能够配备到生产线上，减少操作移动步骤，提高效率
6. 处理复杂结构材料的能力强
7. 经济成本效益高