提供大气等离子清洗机、真空等离子清洗机、宽幅等离子清洗机、微波等离子清洗机、等离子去胶机、接触角测量仪、USC干式超声波除尘、远程等离子源RPS等一站式服务设备
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SPS-08是一款基于电感耦合等离子体技术的自成一体的原子发生器，它的功能是用于半导体设备工艺腔体原子级别的清洁，使用工艺气体三氟化氮（NF3）/O2，在交变电场和磁场作用下，原材料气体会被解离，从而释放出自由基，活性离子进入工艺室与工艺室上沉积的污染材料（SIO/SIN）或者残余气体（H2O、O2、H2、N2）等物质产生化学反应，聚合为高活性气态分子经过真空泵组抽出处理腔室，提高处理腔室内部洁净度。
自由基分子的等离子体无偏压，不会对产品有电性损坏，去胶速率高
自由基分子的等离子体无偏压，不会对产品有电性损坏，去胶速率快
可做到聚合物去除、氧化硅或碳化硅刻蚀、刻蚀后表面清洁
可有效去除表面残留物、介质与介质间光阻去除
可BAW/SAW工艺中的光阻去除，配备单腔双腔两种类型
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