RTP快速退火炉（Rapid Thermal Processding简称RTP）是一种用于半导体器件制造和材料研究的设备，通过控制加热和冷却过程中的温度和时间，从而实现对材料的精准控制和优化处理。使用上下两层红外卤素灯管作为热源加热，内部石英腔体保温隔热，腔体外壳为水冷铝合金，使得制品加热均匀，且表面温度低。

等离子清洗机具有表面活化功能，通过等离子体的作用，能够完全去除挡风玻璃表面的有机物和其他污染物，从而增加了表面能，提高了油墨、涂层或其他材料与挡风玻璃表面的附着力。针对汽车玻璃制程中印刷、粘接工艺前，可使用等离子清洗机、USC超声波除尘达到表面活化、精细除尘的目的。

汽车行业正处于一个快速变革和发展的时期，传统的内燃机技术持续改进，而新的能源和驱动技术也在快速崛起，电动化和智能化将成为主流。而等离子技术则为汽车行业的变革发展“保驾护航”，提高点胶、粘接、贴合、焊接、涂覆、封装等工艺段质量，满足汽车产业严格的生产要求，确保汽车产品具有始终如一效果。

USC干式超声波除尘可快速、有效将产品表面的浮尘颗粒进行清除，保证极片后续喷涂、封装等工序的质量。大大降低故障率，提升产品良品率。

快速退火炉广泛应用于IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种芯片产品的生产，以及欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物生长、消除应力和致密化等工艺当中。

在光伏电池制程中，等离子表面处理可用于玻璃基板表面活化，阳极表面改性，涂保护膜前处理等，在提高光伏元件表面亲水性、附着力等方面具有显著的优势。同时，需要解决光伏电池制程中的尘埃污染问题。浮尘颗粒会附着在基材表面，不仅影响光电转换效率，还可能引发电池内部故障。