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SPV-150真空等离子清洗机
SPV-150真空等离子清洗机

SPV-150真空等离子清洗机

产品对比

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产品特点

  • 军工级的焊接工艺，腔体密封性强，高密度等离子源，保证全方位均匀清洗；
  • 一键启动，精确控制试验时间、真空度、功率等重要参数；
  • 45℃超低清洗温度，不造成热影响，确保稳定的处理效果；
  • 双路或多路工艺气体，气体控制稳定；
  • 单次可处理多片/批次材料，更可根据材料、产能进行定制；
  • 易操作及维护，全程工艺可控，可在线设置、修改、监控各种工艺参数；
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 硬件选配

配件类型

晟鼎自主研发—国产中频电源

频率40KHz,功率2000W

晟鼎专属定制—国产射频电源

频率13.56MHz，功率0~1000W

美国CERES—进口射频电源

频率13.56MHz，功率0~600W或0~1000W可选

进口中频电源

频率40KHz，功率2000W

横电极腔体

应用于芯片、摄像头模组、PCB/FPC、晶圆等产品表面处理

竖电极腔体

应用于LED行业，适用于各种类型产品治具或结构

泵组

油泵

罗茨泵

干泵
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