提供接触角测量仪、大气等离子清洗机、真空等离子清洗机、宽幅等离子清洗机、微波等离子清洗机、USC干式超声波除尘清洗机、离子静电消除装置等一站式服务设备
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国内首台800mm超长处理宽度,单位面积处理时间提升3倍
线性等离子发生装置适用于各种狭窄空间,可根据产品的宽度进行定制,实现连续生产作业
采用晟鼎专利中频数字电源,确保等离子体均匀,处理过程稳定
专门针对半导体行业的微波在线片式真空等离子清洗机,针对半导体芯⽚粘接前处理、塑封前处理、光刻胶去除、⾦属键合前处理。等离子体不带电,不对精密电路造成损害,采用磁约束方式,可兼容微波结和磁路。
自由基分子的等离子体无偏压,不会对产品有电性损坏,去胶速率高
快速有效清除产品表面浮沉颗粒,3um尘粒97%的清除率,6um尘粒98%的清除率