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接触角测定仪主要由分析软件、注射系统、光源、样品台和视频系统等部分组成。 接触角的常用测量一般我们叫做“座滴法”测量,顾名思义是指液滴坐落在固体表面的一种测试方法,它又分为静态接触角与动态接触角两种不同的测量方式。
除了以上沉积与镀膜问题,在清洗上,晶圆表面的润湿性对晶圆也会有一定的影响,亲水性表面可以让晶圆与清洗液更好地进行接触,达到更理想有效的清洗效果;反之,疏水性表面与清洗液接触则会形成水珠状液滴,造成清洗效果不佳,会对后续的工艺造成不良影响,导致损失。因此,表面接触角的测量成为了晶圆制造过程中不可或缺的步骤。
接触角测量仪,主要用于测量液体对固体的接触角,即液体对固体的浸润性,通过光学投影的原理,对气、液、固三相界面轮廓进行保真采集精密分析。
等离子清洗机有效清除上游工序残留表面污垢颗粒;清洗柔性OLED与CG表面有机物,改善水滴角,降低GDS发生,减少异物使产品的信赖性能更优;
真空等离子体表面处理的特点及应用行业
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