提供接触角测量仪、大气等离子清洗机、真空等离子清洗机、宽幅等离子清洗机、微波等离子清洗机、USC干式超声波除尘清洗机、离子静电消除装置等一站式服务设备
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在线片式真空等离子清洗机主要用于半导体行业引线框架表面清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。
除尘头两侧两个吸气口和中间一个吹气口，中间吹气口吹气产生超声波，使灰尘脱离产品表面，吸气口把灰尘吸走，完成除尘
可做到聚合物去除、氧化硅或碳化硅刻蚀、刻蚀后表面清洁
可有效去除表面残留物、介质与介质间光阻去除
可BAW/SAW工艺中的光阻去除，配备单腔双腔两种类型
全自动双腔设计，可兼容6-8英寸WAFER
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